潔淨氣氛爐 DTN 系列

氮氣置換 + 強制送風循環 · 潔淨度 Class 100 · 氧濃度 ≤20ppm
型號 DTN430C
型號 DTN630C
型號 DTN450C
型號 DTN650C
▍ 特點
  • 最高工作溫度 360℃ 和 500℃。
  • 採用耐熱高性能高效過濾器,可在潔淨環境下進行高溫烘烤。
  • 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N₂ 消耗量極低。
  • 磁密封保持高氣密性,採用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
  • 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。
  • 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
▍ 安全性
  • 門檢測開關。
  • 溫度過升防止器。
  • 氧濃度異常安全裝置。
  • 氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測。
  • 冷卻水流量檢測、漏水感測器。
  • 過電流漏電保護開關等。
項目 DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C
方式
運作方式 氮氣置換 + 強制送風循環
性能
使用溫度範圍 室溫 +50 ~ 360 ℃ 室溫 +50 ~ 500 ℃
溫度波動度 (GB標準) ±0.3 ℃ (360℃) ±0.5 ℃ (500℃) ±0.5 ℃ (500℃) ±0.5 ℃ (500℃)
溫度均勻偏差 (GB標準) ±1.5℃ (100℃), ±2℃ (200℃), ±4℃ (300℃), ±5℃ (360℃) ±1.5℃ (100℃), ±2℃ (200℃), ±4℃ (300℃), ±5℃ (360℃) ±1.5℃ (100℃), ±2℃ (200℃), ±4℃ (300℃), ±5℃ (360℃) ±1.5℃ (100℃), ±2℃ (200℃), ±4℃ (300℃), ±5℃ (360℃)
溫度調節精度 (JTM標準) ±0.3 ℃ (360℃) ±0.5 ℃ (500℃) ±0.5 ℃ (500℃) ±0.5 ℃ (500℃)
溫度分布精度 (JTM標準) ±4 ℃ (360℃) ±6 ℃ (500℃)
最高溫度到達時間 約 80 分 約 110 分
氧濃度 20 ppm 以下
氧濃度到達時間 ≤20 分 (250L/min N₂) ≤25 分 (250L/min N₂) ≤20 分 (250L/min N₂) ≤25 分 (250L/min N₂)
潔淨度 溫度恆定時 100 級
構成
內裝 不鏽鋼板
外裝 冷軋鋼板,表面耐藥品性塗裝
斷熱材料 矽酸鋁棉
加熱方式 不鏽鋼加熱管 合金加熱絲
加熱功率 6.0 KW 9.0 KW 10.8 KW 14.2 KW
冷卻機構 不鏽鋼冷卻水換熱器
HEPA 過濾器 集塵效率:0.3 μm 粒子 99.97% 以上
控制
溫度控制方式 PID 控制
溫度控制器 液晶觸控螢幕 + PLC
運轉功能 手動定值運轉、自動程式運轉
程式模式 程式運轉 9 個,每個程式可設置 9 步(可擴展)
附加功能 操作員等級認證
加熱器迴路控制 SSR 驅動
感測器 K 型熱電偶(溫度控制及過升防止器)
安全裝置
安全功能 門檢測開關 │ 過升防止器 │ 氧濃度異常檢測 │ N₂ 壓力低檢測
N₂ 流量檢測 │ 冷卻水流量檢測 │ 漏水感測器 │ 風機過載檢測
過電流漏電保護開關
規格
內部尺寸 (寬×深×高 mm) 450 × 450 × 450 660 × 600 × 660 450 × 450 × 450 660 × 600 × 660
外部尺寸 (寬×深×高 mm) 1090 × 1170 × 1570 1300 × 1320 × 1780 1090 × 1170 × 1570 1300 × 1320 × 1780
內容積 91 L 261 L 91 L 261 L
柵板層數 / 層間距 12 層 / 30 mm 19 層 / 30 mm 12 層 / 30 mm 19 層 / 30 mm
排氣口 40 KF 法蘭
氮氣入口 Rc 1/2
冷卻水入口 Rc 3/4
熱水出口 Rc 3/4,2 個
電源 (50/60Hz) 額定電流 3相 AC380V 16A 3相 AC380V 19A 3相 AC380V 20A 3相 AC380V 27A
重量 約 900 kg 約 1100 kg 約 900 kg 約 1100 kg
選購品
柵板 │ 真空泵 │ 溫度記錄儀 │ 多色燈帶 │ 乙太網路通信功能
UPS 備用電源 │ 掃描槍 │ PC 組件 │ 測溫組件