▍ 特點
- 適用於研究開發的小型電漿清洗機。
- DP 模式（PDC510 標配，PDC200/210 選配）。
- RIE 模式。
- 均勻性高的電極構造。
- 操作簡單的觸控螢幕控制器。
▍ 安全性
- 過電流漏電保護開關。
- 緊急停止開關。
- 門開關安全互鎖。
- 高頻洩漏防護。
| 項目 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
| 電漿模式 |
| 電漿模式 |
RIE（DP 模式選配） |
RIE（DP 模式選配） |
RIE／DP |
| 電極構造 |
| 電極構造 |
平行平板（固定） |
| 高頻輸出 |
| 高頻輸出 |
Max 300 W |
Max 300 W |
Max 500 W |
| 頻率 |
| 頻率 |
13.56 MHz |
| 控制·顯示 |
| 控制·顯示 |
液晶觸控螢幕 |
| 反應室 |
| 反應室尺寸 (寬×深×高 mm) |
W400 × D250 × H150 |
W400 × D250 × H150 |
W500 × D300 × H200 |
| 電極尺寸 (寬×深 mm) |
W250 × D170 |
W250 × D170 |
W400 × D200 |
| 反應室材質 |
鋁 A5052 |
| 氣體系統 |
| 反應氣體 |
2 系統（Ar、O₂） |
| 填充氣體 |
N₂ 或乾燥空氣 |
| 反應氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
聚合控制器 |
| 氣體導入口 |
反應氣體 2 個，填充氣體 1 個 |
| 真空泵 |
| 真空泵 |
另行選配 |
油泵（約 345 L/分）標配 |
油泵（約 500 L/分）標配 |
| 規格 |
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) |
W540 × D600 × H600 |
W540 × D600 × H600 |
W700 × D700 × H1285 |
| 重量 |
約 100 kg |
約 105 kg |
約 180 kg |
| 電源 (50/60Hz) |
單相 AC100V 10A |
三相 AC200V 6A |
三相 AC200V 8A |