| 項目 | PDC610 |
|---|---|
| 電漿模式 | |
| 電漿模式 | RIE／DP（固定模式） |
| 電極構造 | |
| 電極構造 | 3 段獨立平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | |
| 高頻輸出 | Max 600 W |
| 頻率 | |
| 頻率 | 13.56 MHz |
| 控制·顯示 | |
| 控制·顯示方式 | PLC · 觸控螢幕 |
| 反應腔 | |
| 反應腔尺寸 (寬×深×高 mm) | W350 × D270 × H300 |
| 反應腔材質 | A5052 |
| 氣體系統 | |
| 反應氣體 | 2 系統（Ar、O₂） |
| 填充氣體 | N₂ 或乾燥空氣 |
| 真空泵 | |
| 真空泵 | 油泵（約 345 L/分）· 標配 |
| 規格 | |
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) | W600 × D722 × H700 |
| 外裝材質 | 不鏽鋼 |
| 電源 (50/60Hz) | 3 相 AC200 50/60Hz 15A |