| 項目 | PM110C |
|---|---|
| 電漿發生器 | |
| 電漿發生器 | 低頻高電壓電源，輸出約 50 W，周波數 60 KHz，輸出電壓 10 kV |
| 電極構造 | |
| 電極構造 | 電容型 2 分割 |
| 氣體流量計 | |
| 氣體流量計 | 氧氣用、流量 30 ~ 300 mL/min |
| 真空調整閥門 | |
| 真空調整閥門 | 抽真空用、回大氣用 |
| 反應腔 | |
| 反應腔尺寸 | 腔體尺寸 Φ100 × L160 mm |
| 規格 | |
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) | 310 × 300 × 448 |
| 電源 (50/60Hz) | AC 220 V, 10 A |
| 真空泵接口 | KF25（推薦真空泵排氣速度 30 L/min） |
| 氣體接口 | 外徑 Φ6.35 mm |