▍ 特點
- 從樣品表面改質到清洗的小型台式電漿清洗機。
- RF 為 200 W 的高性能輸出類型（PR200 系列）。
- 由於是尺寸緊湊的台式機，很小的位置都可以安裝。
- 同步、自動調諧，操作簡單（PR300 / PR301）。
- 電漿體反應器（灰化設備）。
▍ 應用
- 樣品表面改質（親水化處理）。
- 有機物灰化去除。
- 表面清潔與活化。
- 半導體、電子元件清洗。
- 材料表面處理。
| 項目 |
PR210C |
PR300 |
PR301 |
| 模式 |
| 模式／類型 |
DP 模式，桶型 |
| 控制部 |
| 高頻輸出功率 |
Max 300 W |
Max 300 W |
Max 300 W |
| 頻率 |
13.56 MHz |
| 同調方式 |
手動 2 軸同調方式 |
| 反應部 |
| 反應腔 |
耐熱玻璃 Φ100 × 160 mm |
超硬質玻璃 Φ64 × 160 mm × 3 室 |
耐熱玻璃 Φ118 × 160 mm |
| 反應氣體 |
1 系統（氧氣）流量計 |
| 控制方式 |
手動密閉閥 |
自動減壓、自動密閉閥 |
自動減壓、自動密閉閥 |
| 配管材質 |
不鏽鋼、鐵氟龍、銅、鋁合金 |
不鏽鋼、鐵氟龍 |
| 規格 |
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) |
W350 × D400 × H500 |
W438 × D520 × H556 |
W438 × D520 × H630 |
| 重量 |
約 10 kg |
約 36 kg |
約 34 kg |
| 電源 |
AC 220 V, 10 A |
AC 100 V, 7 A |