| 項目 | PR500 | PR510 | PR1000 |
|---|---|---|---|
| 模式 | |||
| 模式／類型 | DP 模式，桶型 | ||
| 控制部 | |||
| 高頻輸出功率 | Max 500 W | Max 500 W | Max 1000 W |
| 頻率 | 13.56 MHz | ||
| 同調方式 | 自動切換 | ||
| 反應部 | |||
| 反應腔 | 石英 Φ215 × 305 mm | 石英 Φ215 × 305 mm | 石英 Φ350 × 400 mm |
| 反應氣體 | 2 系統（O₂ / CF₄） | ||
| 控制方式 | 手動 | 觸控螢幕自動控制 | 觸控螢幕自動控制 |
| 配管材質 | 不鏽鋼、鐵氟龍 | ||
| 規格 | |||
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) | W438 × D520 × H760 | W520 × D630 × H760 | W800 × D900 × H1706 |
| 重量 | 約 60 kg | 約 70 kg | 約 200 kg |
| 電源 | 單相 AC100V 9A | 三相 AC200V 8A | 三相 200V 8A |