| 項目 | V1000 | V1000X | V1000XS |
|---|---|---|---|
| 電漿模式 | |||
| 電漿模式 | DP / RIE | ||
| 高頻電源 | |||
| 高頻電源 | 13.56 MHz | ||
| 輸出功率 | |||
| 輸出功率 | Max 1000 W | Max 1000 W | Max 1500 W |
| 電極 | |||
| 有效電極尺寸 (寬×深 mm) | W280 × D280 | W300 × D300 | W400 × D375 |
| 電極類型 | 平行平板 | 2 段電極（獨立） | 平板（多目的） |
| 氣體系統 | |||
| 反應氣體 | 聚合控制器 2 系統（填充氣路另行安裝） | ||
| 真空泵 | |||
| 真空泵（標配） | 約 1000 L/min | 約 1500 L/min | 1000 & 1500 L/min |
| 安全裝置 | |||
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||