| 項目 | YSP62 |
|---|---|
| 模式 | |
| 模式 | RIE（DP 模式選購） |
| 高頻輸出 | |
| 高頻輸出功率 | 600 W |
| 反應台尺寸 | |
| 反應台尺寸 (寬×深 mm) | W385 × D362 |
| 內腔尺寸 | |
| 內腔尺寸 (寬×深×高 mm) | W395 × D378 × H45（內尺寸） |
| 反應氣體 | |
| 反應氣體 | 2 進氣系統（氧氣、氬氣） |
| 反應氣體流量控制 | |
| 反應氣體流量控制 | 質量流量控制器 |
| 真空泵 | |
| 真空泵 | 旋轉式真空泵（約 500 L/min） |
| 氣體導入口 | |
| 氣體導入口 | 反應氣體 2 個、填充氣體 1 個、空氣 1 個 |
| 外形尺寸 | |
| 外形尺寸 (寬×深×高 mm) | W1860 × D1100 × H1800 |